第21章 这,举世壮举(求评求月求推全都求)
“!!!”
张帆嘟囔着小嘴乖乖的退了回去,她都没说我能干啥呢,就被拒绝了,她还能说啥。
太霸道了!
而就在所有人的注视之下。
光刻机全面启动。
整个工作机组成流水线程方式。
晶圆由机器人分毫不差的放在工作台上的卡槽之中,四周的卡位将晶圆稳固。
可在此时,画面却静止了下来。
曝光系统并没有启动,反而在真空罩内,进行一种复杂的工艺。
几个院士目不转睛,完全忘乎所以的盯着真空罩。
丝毫不顾周围人的感受。
工部尚书卢风忍不住问道:“这,是在干什么?”
并不了解光刻机。
云凌峰解释道:“光刻机所加工的,并不是真正的芯片,而是芯片的基础单位晶圆。”
“而晶圆加工,必须要进过五个流程。”
“晶圆裸片,金属溅镀,涂布光阻,刻蚀技术,光阻取出,电镀工艺。”
“现在这个过程可以称之为镀膜!”
“简单来说,就是电子元器件的物理气象沉积工艺。”
“利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集而形成高速离子束流,轰击固体表面。”
“离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,也就是镀膜!”
听完,工部尚书不由的点了点头,但其实……根本就没听懂。
“不错,不错!”但工部尚书还是忍不住的赞叹起来。
“是啊,不错,非常不错!”郡守,两大城主也紧随其后的点头称赞。
颇有一番见解的点头,表示……看懂了。
但其实,还是一脸懵。
云凌峰无奈一笑,只能继续解释道:“光刻机加工芯片过程中,简单来说就是通过光源,形成控制方法。”
“将光束射过线路图,处理好光学误差,再将线路图的比例缩小,用化学的方法将电路图刻在硅片上。”
“在晶圆上开出各种微小的空间注入离子,生成PN节,构建千千万万的元器件。”
“完成这个,才能在晶圆上形成芯片原形。”
“之后,通过切割,封装,套入管脚,测试等等,就完成最终的芯片!”
“原来如此!”直到此时,工部尚书才有点明白的点了点头。
而巡域使也是赞叹道:“没想到芯片这小小的东西,竟然如此的复杂。”
而当众人再次看向云凌峰的时候,就忍不住的佩服了起来。
云凌峰,可是完整的从无到有研发出光刻机。
这究竟是怎样的博学,才能够做到。
甚至于。
云凌峰这简短所说的,连光刻机所涉及知识的万分之一都不到。
难以想象。
同样是脑子,云凌峰的脑子和他们的脑子,差距究竟有多大!
这让他们肃然起敬。
这研究过程之中,又经历了怎样的艰苦!
就在此时。
曝光系统正式的启动。
全自动化生产,经过镀膜之后的晶圆,进入了曝光台上,曝光系统两个光系统多组物镜组折射之后高频光,用肉眼所看不到的方式开始在晶圆上面进行加工。
在这个过程之中。
传感器系统从多个方位对晶圆进行高度自动化同步,并将实时数据传回中控,可以精准到纳米以下对晶圆进行加工。
光刻机就是在晶圆上制造出超大规模集成电路。
时间在所有人屏住呼吸之中悄然而过。
人不多。
但所有人都目光灼热,屏住呼吸的盯着工作台,深怕自己的呼吸影响到光的方向。
手机SOC芯片的晶片只有拇指盖一半大小。
而晶圆为最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸,12英寸,18英寸。
自然,这需要根据需求,也就是集成电路设计数量和光刻机常规加工精度来综合定型晶圆大小尺寸。
此时工作台上加工的是一个12英寸晶圆。
三分钟时间过去。
只见工作台上的曝光系统停止了工作。
经过最后一层电镀工艺之后。
一片12英寸的晶圆体就正式的完成。
寂静。
无声。
几个院士激动而颤抖的盯着已经完成加工的晶圆。
已经不知道该干什么了。
只剩下无限激动。
而就在短暂的沉浸三秒之后。
科学院陈院士颤抖了起来,忍不住惊叹的上前三步,站在最靠近工作台的位置,不敢相信的道:“5nm波长的极紫外光,这究竟是怎么做到的。”
“究竟是以什么样的物镜组合方式,才能够将如此精细的高频光反射为所需要的光图。”
“多位传感器,多层组合之下,这个误差好像跟别的不一样。”
“不敢想象,这样的制作工艺,会出现在我们龙国!”
陈院士激动了,两只手颤抖的抚摸着真空外罩,对里面的工作台望眼欲穿。
而后!
猛然间。
陈院士转身,激动的跑在了云凌峰的面前,无比惊叹的道:“云总,毫不客气的说,这台光刻机,就算是给荷包蛋集团三十年的时间,也未必能够超越!”
“我……”陈院士激动着,哗啦一下,就深深的对着云凌峰鞠躬,眼神之中流露出激动的泪光。
“万千感激,只愿我龙国,成为真正的科技强国。”
一切尽在不言中。
云凌峰急忙上前扶起道:“这,是我们共同的愿景啊!”
张帆默默的拿出笔记本,将这幅画面记录了下来。
“哈哈哈,好一个是我们共同的愿景。”半导体徐院士紧随陈院士,对云凌峰只剩下无限的崇拜。
研究院刘院士更是激动的道:“这是我们自主生产的光刻机,这其中,没有用到歪果仁任何一组零器件!”
“这,是创造龙国历史的壮举!”
八零八研究院李院士也跟着激动走来,手中捧着成品晶圆,笑呵呵道:“这,才是我们龙国的希望之光。”
“毫不客气的说,云总比那些年收入几千万的网红,明星,不知道要强多少倍。”
科学院陈院士直接不满的怒道:“李老,你这话就不对了,你将云总跟那些网红明显比,有可比性吗?”
“毫不客气的说,网红不过是大家茶余饭后的调节剂。”
“一切尽在不言中。”
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张帆嘟囔着小嘴乖乖的退了回去,她都没说我能干啥呢,就被拒绝了,她还能说啥。
太霸道了!
而就在所有人的注视之下。
光刻机全面启动。
整个工作机组成流水线程方式。
晶圆由机器人分毫不差的放在工作台上的卡槽之中,四周的卡位将晶圆稳固。
可在此时,画面却静止了下来。
曝光系统并没有启动,反而在真空罩内,进行一种复杂的工艺。
几个院士目不转睛,完全忘乎所以的盯着真空罩。
丝毫不顾周围人的感受。
工部尚书卢风忍不住问道:“这,是在干什么?”
并不了解光刻机。
云凌峰解释道:“光刻机所加工的,并不是真正的芯片,而是芯片的基础单位晶圆。”
“而晶圆加工,必须要进过五个流程。”
“晶圆裸片,金属溅镀,涂布光阻,刻蚀技术,光阻取出,电镀工艺。”
“现在这个过程可以称之为镀膜!”
“简单来说,就是电子元器件的物理气象沉积工艺。”
“利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集而形成高速离子束流,轰击固体表面。”
“离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,也就是镀膜!”
听完,工部尚书不由的点了点头,但其实……根本就没听懂。
“不错,不错!”但工部尚书还是忍不住的赞叹起来。
“是啊,不错,非常不错!”郡守,两大城主也紧随其后的点头称赞。
颇有一番见解的点头,表示……看懂了。
但其实,还是一脸懵。
云凌峰无奈一笑,只能继续解释道:“光刻机加工芯片过程中,简单来说就是通过光源,形成控制方法。”
“将光束射过线路图,处理好光学误差,再将线路图的比例缩小,用化学的方法将电路图刻在硅片上。”
“在晶圆上开出各种微小的空间注入离子,生成PN节,构建千千万万的元器件。”
“完成这个,才能在晶圆上形成芯片原形。”
“之后,通过切割,封装,套入管脚,测试等等,就完成最终的芯片!”
“原来如此!”直到此时,工部尚书才有点明白的点了点头。
而巡域使也是赞叹道:“没想到芯片这小小的东西,竟然如此的复杂。”
而当众人再次看向云凌峰的时候,就忍不住的佩服了起来。
云凌峰,可是完整的从无到有研发出光刻机。
这究竟是怎样的博学,才能够做到。
甚至于。
云凌峰这简短所说的,连光刻机所涉及知识的万分之一都不到。
难以想象。
同样是脑子,云凌峰的脑子和他们的脑子,差距究竟有多大!
这让他们肃然起敬。
这研究过程之中,又经历了怎样的艰苦!
就在此时。
曝光系统正式的启动。
全自动化生产,经过镀膜之后的晶圆,进入了曝光台上,曝光系统两个光系统多组物镜组折射之后高频光,用肉眼所看不到的方式开始在晶圆上面进行加工。
在这个过程之中。
传感器系统从多个方位对晶圆进行高度自动化同步,并将实时数据传回中控,可以精准到纳米以下对晶圆进行加工。
光刻机就是在晶圆上制造出超大规模集成电路。
时间在所有人屏住呼吸之中悄然而过。
人不多。
但所有人都目光灼热,屏住呼吸的盯着工作台,深怕自己的呼吸影响到光的方向。
手机SOC芯片的晶片只有拇指盖一半大小。
而晶圆为最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸,12英寸,18英寸。
自然,这需要根据需求,也就是集成电路设计数量和光刻机常规加工精度来综合定型晶圆大小尺寸。
此时工作台上加工的是一个12英寸晶圆。
三分钟时间过去。
只见工作台上的曝光系统停止了工作。
经过最后一层电镀工艺之后。
一片12英寸的晶圆体就正式的完成。
寂静。
无声。
几个院士激动而颤抖的盯着已经完成加工的晶圆。
已经不知道该干什么了。
只剩下无限激动。
而就在短暂的沉浸三秒之后。
科学院陈院士颤抖了起来,忍不住惊叹的上前三步,站在最靠近工作台的位置,不敢相信的道:“5nm波长的极紫外光,这究竟是怎么做到的。”
“究竟是以什么样的物镜组合方式,才能够将如此精细的高频光反射为所需要的光图。”
“多位传感器,多层组合之下,这个误差好像跟别的不一样。”
“不敢想象,这样的制作工艺,会出现在我们龙国!”
陈院士激动了,两只手颤抖的抚摸着真空外罩,对里面的工作台望眼欲穿。
而后!
猛然间。
陈院士转身,激动的跑在了云凌峰的面前,无比惊叹的道:“云总,毫不客气的说,这台光刻机,就算是给荷包蛋集团三十年的时间,也未必能够超越!”
“我……”陈院士激动着,哗啦一下,就深深的对着云凌峰鞠躬,眼神之中流露出激动的泪光。
“万千感激,只愿我龙国,成为真正的科技强国。”
一切尽在不言中。
云凌峰急忙上前扶起道:“这,是我们共同的愿景啊!”
张帆默默的拿出笔记本,将这幅画面记录了下来。
“哈哈哈,好一个是我们共同的愿景。”半导体徐院士紧随陈院士,对云凌峰只剩下无限的崇拜。
研究院刘院士更是激动的道:“这是我们自主生产的光刻机,这其中,没有用到歪果仁任何一组零器件!”
“这,是创造龙国历史的壮举!”
八零八研究院李院士也跟着激动走来,手中捧着成品晶圆,笑呵呵道:“这,才是我们龙国的希望之光。”
“毫不客气的说,云总比那些年收入几千万的网红,明星,不知道要强多少倍。”
科学院陈院士直接不满的怒道:“李老,你这话就不对了,你将云总跟那些网红明显比,有可比性吗?”
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